[发明专利]一种PERC电池多层膜层制备设备及制备方法在审
| 申请号： | 202110410509.3 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113192865A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 顾生刚;时宝;张笛;周建科;杨联赞;刘海金;韩雅楠;杨永平;李吉;陈刚 | 申请（专利权）人： | 天津爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 300400 天津市北辰区天津北辰*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于太阳能电池领域，提供了一种PERC电池多层膜层制备设备及制备方法，包括依次通过阀门进行通道连接的五个连接腔室、设于各个连接腔室内的滚轮组、及在滚轮组上进行移动的用于装载硅片的镂空载板，镂空载板及硅片作为制备设备的其中一个电极；各个连接腔室分别设有抽气装置、进气装置、以及加热装置；其中五个连接腔室依次包括进料腔室、第一沉积腔室、第二沉积腔室、第三沉积腔室、及出料腔室。本发明中提供的PERC电池多层膜层制备设备，解决了现有PERC电池正背表面镀多种膜层时需要频繁上下料所导致的硅片污染、隐裂、碎片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 多层 制备 设备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
