[发明专利]一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置有效
申请号: | 202110411111.1 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113278926B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 安永;肖畅;闫海涛 | 申请(专利权)人: | 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
代理公司: | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人: | 安娜 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种镀膜遮挡装置,包括:驱动部、固定板、镀膜板、支撑板、挡板和滑动结构;第一支撑板和第二支撑板分别设置在固定板的两侧;两个支撑板之间设置有导向杆;镀膜板设置在固定板上,并设置有滑槽和用于放置待加工件的开孔;滑动结构包括滑块和连接杆;导向杆间隔设置在支撑板之间;滑块滑动设置在导向杆上,并与驱动部连接;连接杆的一端与滑块连接,另一端穿过滑槽与挡板连接;挡板在驱动部的作用下,沿滑槽前后移动以挡住或露出待加工件。本发明还提供一种包含该遮挡装置的镀膜装置。本发明能够精确控制镀膜精度和缩短制备时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 遮挡 装置 包含 | ||
【主权项】:
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