[发明专利]晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器在审
| 申请号： | 202110411355.X | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113517345A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 华文宇;薛迎飞 | 申请（专利权）人： | 芯盟科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/108;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器。所述方法包括如下步骤：形成导电沟道，所述导电沟道包括柱状本体以及两侧的端部，所述端部至少有一为突出设置；形成环绕所述柱状本体的栅绝缘层，并暴露所述导电沟道两侧的端部；形成环绕所述栅绝缘层的栅电极；在所述导电沟道两侧的端部形成源电极和漏电极。上述晶体管是从现有技术的水平方向的晶体管改进为垂直方向，从而使得单个晶体管在水平方向上所占的面积减少，单位面积的晶体管数量增加，提高了晶体管密度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 制造 方法 基本 存储 单元 以及 动态 随机存取存储器 | ||
【主权项】：
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