[发明专利]一种低温CVD法制备高热导率碳材料的方法有效
申请号: | 202110412311.9 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113023726B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 郭领军;钟磊;李贺军;黎云玉 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | C01B32/205 | 分类号: | C01B32/205;C01B32/05 |
代理公司: | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人: | 王鲜凯 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明涉及一种低温CVD法制备高热导率碳材料的方法,以二氧化硅纤维为沉积衬底,在其表面低温(1000℃~1300℃)CVD制备热解碳,其次用氢氟酸将二氧化硅纤维刻蚀掉,再将刻蚀好的热解碳作为预制体进行第二次热解碳沉积,最后在石墨化炉中对其进行高温石墨化处理。本发明将传统CVD热解石墨的制备温度由1800℃以上降低至1200℃以下,有效降低沉积温度,所制备样件密度为1.85g/cm |
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搜索关键词: | 一种 低温 cvd 法制 高热 导率碳 材料 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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