[发明专利]基于镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振制备方法及基于该晶片的甲烷浓度传感器在审
| 申请号： | 202110414084.3 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113134465A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 窦广彬;董一德;郑嵩;夏良军 | 申请（专利权）人： | 南京晶芯光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | B05D7/24 | 分类号： | B05D7/24;B05D1/00;G01N21/17 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于甲烷检测技术领域，尤其是涉及基于镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振制备方法及基于该晶片的甲烷浓度传感器，包括以下步骤：步骤一：先将镍钴多孔配位聚合物制成3微米的薄膜；步骤二：之后调试涂装设备，将涂装设备运行状态调整到4000r/min；步骤三：在4000r/min的速度下，将该的薄膜材料均匀涂装在石英晶振表面，制得带有镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振；一种基于镍钴多孔配位聚合物镀膜石英晶振的甲烷浓度传感器，所述甲烷浓度传感器包括激光发射模块、激光接收模块、计时模块、温度采集模块、谐振采集模块、数据接收模块、数据处理模块。本发明制备出的石英晶振在甲烷浓度传感器中进行更加准确的甲烷浓度检测，更加值得推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多孔 配位聚合 镀膜 石英 制备 方法 晶片 甲烷 浓度 传感器 | ||
【主权项】：
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