[发明专利]一种改进的载气团簇源发生方法与装置在审
| 申请号： | 202110415778.9 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113174572A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曹路;宋凤麒;刘翊;张同庆 | 申请（专利权）人： | 江苏集创原子团簇科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种载气团簇源装置，用于向目标提供团簇，包括：用于产生簇束的束源装置，所述束源装置包括用于发射原子束的蒸发源装置和气体混合室，其中载气与原子束混合以形成具有与原子团混合的原子簇的簇束；载气流量调节装置，用于在形成簇之后调节簇束，使得基本上所有簇都处于液态；和发射装置，其在撞击目标之前以几乎所有的集群处于液态的方式将调节后的集群束的集群发射到目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 气团 发生 方法 装置 | ||
【主权项】：
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