[发明专利]单晶体管结构、多晶体管结构以及电子装置有效
申请号: | 202110418615.6 | 申请日: | 2021-04-19 |
公开(公告)号: | CN112993040B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 戴明志 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/417;H01L29/423;H01L27/088 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 姚璐华 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开了一种单晶体管结构、多晶体管结构以及电子装置,所述单晶体管结构包括:衬底;位于所述衬底同一侧的沟道区、源区和漏区;所述沟道区在延伸方向上具有相对的第一端和第二端;所述源区与所述第一端电接触,所述漏区与所述第二端电接触;位于所述源区与所述漏区之间的栅极,所述栅极包围部分所述沟道区,所述沟道区与所述栅极相对的区域之间具有绝缘层;沟道电极,所述沟道电极与所述栅极露出的所述沟道区电接触,所述沟道电极与所述沟道区被所述栅极包围的部分有交叠部分,且所述沟道电极与所述栅极隔绝绝缘。采用本申请技术方案所述的单晶体管结构或多晶体管结构,能够降低集成电路的面积,提高集成度。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 结构 多晶体 以及 电子 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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