[发明专利]氨解法制备高纯氮化硅粉体方法有效

专利信息
申请号: 202110424082.2 申请日: 2021-04-20
公开(公告)号: CN113148966B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 许立信;刘岳;韩召;万超 申请(专利权)人: 安徽工业大学
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 北京卓胜佰达知识产权代理有限公司 16026 代理人: 张串串
地址: 243000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,涉及氮化硅制备领域。该氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,包括以下内容,向反应容器中加入溶剂和四氯化硅,控制容器中的温度和压器,并向溶剂中融入液氨,并减小容器中的压强,使得液氨气化沸腾,扰动整个反应体系,获得氮化硅前驱体,接着将硅前驱体灼烧、粉碎和焙烧处理,获得氮化硅。通过将反应物充分接触,氮化硅前驱体生成效率高,且氮化硅前驱体的颗粒大小可以通过溶剂量和液氨通入气化的速度控制,利于对最终产品氮化硅粒度的控制。
搜索关键词: 氨解 法制 高纯 氮化 硅粉体 方法
【主权项】:
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