[发明专利]一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置及方法在审
| 申请号： | 202110430673.0 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113125372A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李相贤;高闽光;童晶晶;韩昕;石建国;李妍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;C01B35/06 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 叶濛濛 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置和方法，包括粗品存储罐、第一管路、第二管路、第一傅里叶红外光谱检测系统、第一缓冲罐、第一真空泵、三氯化硼提纯系统、第三管路、第二傅里叶红外光谱检测系统、第二缓冲罐、第二真空泵和碱液筒。第一傅里叶红外光谱检测系统可对三氯化硼粗品中的杂质气体进行检测，第二傅里叶红外光谱检测系统可对经三氯化硼提纯系统生成的电子级三氯化硼成品中的杂质气体进行检测，两个系统可同时工作，实现对三氯化硼粗品和成品中杂质气体的同时检测，且可同时利用碱液筒对检测过的三氯化硼粗品和成品进行中和吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 氯化 提纯 系统 杂质 气体 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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