[发明专利]一种超导纳米线单光子探测器阵列的设计在审
| 申请号： | 202110435556.3 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113193106A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张蜡宝;吕嘉煜;张笑;涂学凑;贾小氢;康琳;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/08;H01L31/0352;H01L31/09;G01J11/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 康翔 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超导纳米线单光子探测器阵列的设计，在基底上生成纳米薄膜，在纳米薄膜上生成第一电极和网格状的第二电极，第二电极包括行列电极和顶层电极，在网格中生成纳米线单元，组成探测器阵列；本发明将三维工艺转化为二维工艺，降低了工艺难度，保持了超大像素，行列电极分次生长，降低了读出电路的难度，行列电极有隔离层，分辨能力强，纳米线的宽度合适，均匀性好，器件性能优，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导纳 米线 光子 探测器 阵列 设计 | ||
【主权项】：
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