[发明专利]基于二硫化钨/锑化镓结型场效应晶体管及其制备方法有效
申请号: | 202110436209.2 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN113224143B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 程子超;剪宇轩;宋秀峰;顾宇;陈翔 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | H01L29/267 | 分类号: | H01L29/267;H01L29/80;H01L21/335;B82Y40/00;B82Y10/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 刘海霞 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种基于WS |
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搜索关键词: | 基于 硫化 锑化镓结型 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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