[发明专利]一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110437055.9 申请日: 2021-04-22
公开(公告)号: CN113514907A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 李江;黄玉祥;朱瑞祥;闫小丽;付作立 申请(专利权)人: 西北农林科技大学
主分类号: G02B3/00 分类号: G02B3/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 712100 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法,将光刻胶旋涂在玻璃片上,烘干;重复旋涂获得光刻胶薄膜,即样片一;将掩膜板与样片一紧密压紧,紫外曝光,用氢氧化钠溶液显影,清洗吹干,得样片二;再将液态PDMS聚合物用于样片二的翻模,经过两次翻模后,得到凹微柱阵列模具,即样片三;将NOA紫外固化胶浇灌在样片三上,覆盖玻璃片压紧,紫外曝光,得到微柱阵列,即样片四;将样片四疏水处理后,利用高精度移动平台和显微成像系统在样片四微柱阵列间隙喷印微透镜阵列,样片前烘、紫外曝光、后烘,得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五,即高透稳定超疏水复眼透镜;本发明显著提高微透镜阵列的疏水稳定性,整个基底的光透性几乎不受影响。
搜索关键词: 一种 稳定 疏水 复眼 透镜 制造 方法
【主权项】:
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