[发明专利]一种碳氮氧化钛涂层及其应用

摘要

本发明涉及硬质合金切削工具技术领域，尤其涉及一种碳氮氧化钛涂层及其应用。碳氮氧化钛涂层包括：第一化合物层，第一化合物层中的化合物具有通式：Ti(Cx1Ny1Oz1)，x1+y1+z1＝1，0.02≤z1≤0.15；复合在第一化合物层上的第二化合物层，第二化合物层中的化合物具有通式：Ti(Cx2Ny2Oz2)，x2+y2+z2＝1，0.15z2≤0.33。第一化合物层的柱状晶为低氧柱状晶，第二化合物层的柱状晶为高氧柱状晶。两个柱状晶区为连续外延生长。中温化学气相沉积过程中，低氧柱状晶区起到晶粒细化作用，提升耐磨性能，高氧柱状晶区提供高温热稳定性，增强涂层的高温稳定性，进而提高综合耐磨性能。