[发明专利]自动上料系统有效
| 申请号： | 202110439032.1 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113044539B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 谭红青;谭小江;刘家康;刘军辉 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74 |
| 代理公司： | 上海十蕙一兰知识产权代理有限公司 31331 | 代理人： | 刘秋兰 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种上料系统。自动上料系统，包括机架，固定各机构；进料机构，将放置有晶圆的花篮从上料口从前往后移入第一工位，将空的花篮从第一工位向后移至第二工位；移载机构，将放置有晶圆的花篮从第一工位移至花篮脱离机构，将花篮脱离机构分离的空的花篮移入第一工位；花篮脱离机构，将花篮与花篮内的晶圆分离。本发明结构紧凑，用于晶圆花篮的自动上料过程中，可实现实时的进料、移载和花篮脱离，各机构之间同时运行，后续工艺无需等待，大大提高了上料效率。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 系统 | ||
【主权项】：
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