[发明专利]晶体生长组件、晶体生长装置和方法有效
| 申请号： | 202110440864.5 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113122924B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种晶体生长组件、晶体生长装置和方法。晶体生长组件包括叶片调整环，叶片调整环包括外环体和多个叶片件；外环体用于沿坩埚的高度方向布置；叶片件沿坩埚的高度方向延伸，多个叶片件均匀间隔地设置地外环体的内壁上，且多个叶片件远离外环体的端部围合形成中心通道。其能够引导和调整生产气氛，从而保障晶体能够稳定高效地生长。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 组件 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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