[发明专利]一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法

摘要

本发明公开了一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法将晶舟和晶片送人工艺管内，晶舟被移送到工艺管水平的工作区域后，利用桨的升降功能让桨下降到一定高度，将晶舟和晶片放入工艺管内由晶舟舟腿支撑到工艺管底部圆弧处，此时桨继续下降一个小距离，桨与晶舟的支撑面脱离开，此时为桨的低位(同样不与工艺管底部接触)属于空桨悬空状态，此时，桨水平移动，退出工艺管，关闭炉门，此时只有晶舟和晶片在工艺管中接受整个工艺温度和气体流动或者真空等工艺环节，此时桨不在工艺管内部承托晶舟和晶片一同参与晶片的工艺过程，也就没有了原有状态的桨这个物件干扰晶片工艺过程。