[发明专利]用于制造微机械结构的方法和微机械结构在审
| 申请号： | 202110441526.3 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113548637A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | A·乌尔班;J·赖因穆特;L·富克斯;T·弗里德里希 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。所述方法包括以下步骤：形成第一微机械功能层(5)；在所述第一微机械功能层(5)中形成多个沟槽(7)，所述沟槽具有所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)处的扩宽的上部区域(7a)和带有基本上恒定的宽度的下部区域(7b)；在所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)上沉积密封层(8)，以用于密封所述多个沟槽(7)，其中，在所述第一微机械功能层(5)的上侧(O)下方形成所述多个沟槽(7)的密封点(P)，并且至少部分地填充第一沟槽(7)；将所述密封层(8)减薄预给定的厚度(d)；在减薄的密封层(8‘)上方形成第二微机械功能层(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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