[发明专利]一种磁浮重力补偿器有效
| 申请号： | 202110442242.6 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN112994526B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;龚威;蒋贇 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括动子磁钢组件和定子磁钢组件；动子磁钢组件包括动子磁钢部件；定子磁钢组件的第一定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第一磁浮补偿力；定子磁钢组件的第二定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第二磁浮补偿力；第一磁浮补偿力和第二磁浮补偿力方向相同，动子磁钢部件能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量，基准点的位置为动子磁钢部件、第一定子磁钢部件和第二定子磁钢部件的水平中心线在Z轴重合的位置；第一磁浮补偿力随着位移量的增大而增大，第二磁浮补偿力随着位移量的增大而减小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重力 补偿 | ||
【主权项】：
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