[发明专利]长寿命微柱阵列石墨和金属的复合阴极结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202110443718.8 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113097032B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 程军;刘文元;柯昌凤;霍艳坤;陈昌华;孙钧;张贝 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | H01J23/04 | 分类号： | H01J23/04;H01J25/46 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王杨洋 |
| 地址： | 710024 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波激射器，具体涉及一种微波激射器用长寿命微柱阵列石墨和金属的复合阴极结构及其制备方法。本发明的目的是解决现有微柱石墨阴极结构存在凸起发射结构消耗严重，甚至完全失去凸起发射结构，从而失去稳定发射电子束流的作用，并且石墨材料自身的多孔结构经电子束轰击后易释气，导致系统的真空度下降、束波的耦合效率降低以及系统器件绝缘性下降的技术问题。该阴极结构包括微柱阵列石墨阴极，该微柱阵列石墨阴极包括刀口状环形石墨阴极基体，以及阵列式设置于刀口状环形石墨阴极基体刀口处表面的多个石墨微柱，其改进之处在于：所述刀口状环形石墨阴极基体的表面以及各个石墨微柱的顶端和侧壁都均匀粘附有金属涂层，所述金属涂层采用难熔金属。 | ||
| 搜索关键词： | 寿命 阵列 石墨 金属 复合 阴极 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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