[发明专利]化学机械研磨装置在审
| 申请号： | 202110444448.2 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113118964A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 谢振峰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;黄健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例属于半导体制作设备技术领域，具体涉及一种化学机械研磨装置。本发明实施例旨在解决相关技术中采用人工添加试剂费时费力的问题。供应装置包括用于承装研磨液的暂存桶、以及与暂存桶连接的测量装置，测量装置用于检测暂存桶内剩余研磨液的量；研磨机台与暂存桶连通；添加装置包括储存装置以及驱动装置，驱动装置与储存装置和暂存桶连通，控制装置与驱动装置和测量装置连接；控制装置用于在预设时间时，根据暂存桶内剩余研磨液的量和预定规则控制驱动装置将储存装置内对应体积的添加试剂输送至暂存桶内，以使得暂存桶内的添加试剂浓度维持在设定值，与采用人工添加试剂相比，简化了操作过程，节省人工。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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