[发明专利]一种非接触式物体三维轮廓光学检测装置及检测方法有效
申请号: | 202110445209.9 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113029036B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 李成军;翁继东;陈龙;陶天炯;马鹤立;王翔;吴建;贾兴;刘盛刚;唐隆煌;陈书杨;康强 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人: | 冯玲玲 |
地址: | 621999*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种非接触式物体三维轮廓光学检测装置及检测方法,所述装置包括:频域干涉测距仪、计算机、仿形探头支架、光纤探头和精密旋转平台;所述频域干涉测距仪与计算机连接,所述仿形探头支架包围待测件,所述光纤探头有多个,安装在仿形探头支架上,且与频域干涉测距仪通过光纤连接。本发明公开的非接触式的物体三维轮廓光学检测装置可对待测件进行无死角全方位的测量,测量速度快,测量精度高,通用性强,经三坐标测量机及标准件标定,本发明公开的物体三维轮廓光学检测装置其测量精度<20um。 | ||
搜索关键词: | 一种 接触 物体 三维 轮廓 光学 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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