[发明专利]一种脉冲离子源镀膜引出装置有效
| 申请号： | 202110446190.X | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113186504B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 郭春刚;程国安;郑瑞廷 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京佳信天和知识产权代理事务所(普通合伙) 11939 | 代理人： | 田英楠 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲离子源镀膜引出装置，包括脉冲电极，阴极靶材和阳极；阳极包括外筒体和内部的阳极环；阴极靶材与外筒体之间导通；所述阳极环与外筒体之间设置有绝缘材料；阴极靶材为柱状，插入外筒体内，并位于外筒体中的阳极环上方；阴极靶材中心线穿过阳极环的中心孔；阴极靶材与驱动电机传动连接，驱动阴极靶材向阳极环进给；阴极靶材的离子发射端外侧套设有脉冲电极，并且阴极靶材的裸露端伸出脉冲电极，阴极靶材与脉冲电极之间设置有绝缘套；阳极环连接电源的正极，阴极靶材连接电源的负极或接地，脉冲电极连接脉冲电源。本发明离子源引出的离子束可以持续不断，引出的离子束质量提高，分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 离子源 镀膜 引出 装置 | ||
【主权项】：
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