[发明专利]一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法及显示面板有效
| 申请号： | 202110452733.9 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113161423B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 范文志;朱超;冯奇;程卫高;李瑶;万云海;翟智聪;刘家昌;淮兆祥;曹曙光 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/08;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制作方法及显示面板。该薄膜晶体管，包括衬底；依次层叠设置于衬底一侧的有源层、绝缘层和栅电极层；有源层包括沟道区和设置于沟道区两侧的源区和漏区；源区与沟道区相邻的第一区域的厚度小于沟道区的厚度；和/或，漏区与沟道区相邻的第二区域的厚度小于沟道区的厚度。本发明实施例提供的技术方案使得与沟道区相邻的第一区域的截面的面积以及与沟道区相邻的第二区域的截面的面积较小，从而减小了离子向沟道区扩散的通路面积，使得设置于源区和漏区之间的沟道区的有效长度较长，提高薄膜晶体管的可靠性和稳定性，解决现有的薄膜晶体管在离子注入后会减小薄膜晶体管的沟道的长度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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