[发明专利]一种溅射靶材斜面花纹的加工方法在审
| 申请号： | 202110453417.3 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113084236A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;韩军辉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23C5/02;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。本发明防止了反剥落现象的同时避免了产品在加工过程中发生变形，减缓了刀具磨损，合理控制了花纹结构的粗糙度范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 斜面 花纹 加工 方法 | ||
【主权项】：
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