[发明专利]一种AlSc溅射靶材EBSD样品的制样方法在审
申请号: | 202110455805.5 | 申请日: | 2021-04-26 |
公开(公告)号: | CN113125481A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李静云 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N23/20058 | 分类号: | G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/2005;G01N1/32;G01N1/28 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种AlSc溅射靶材EBSD样品的制样方法,所述制样方法包括如下步骤:(1)线切割AlSc溅射靶材,得到溅射靶材块;(2)对步骤(1)所得溅射靶材块的表面进行至少3次机械研磨,得到机械研磨块;(3)步骤(2)所得机械研磨块进行电解抛光,电解抛光结束后使用腐蚀液进行腐蚀,冲洗干净后完成制样。本发明提供的制样方法能够对AlSc溅射靶材进行表面处理,使其能够用于EBSD检测,使所得EBSD成像图片清晰,保证了EBSD的分析效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 alsc 溅射 ebsd 样品 方法 | ||
【主权项】:
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