[发明专利]氧化燃烧铸锭生长机的装置及其方法在审
| 申请号： | 202110457385.4 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114790572A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 金正烈 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;B01D46/42;B01D46/48 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 寇毛;胡春光 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种氧化燃烧铸锭生长机的装置及其方法。该方法包括：a)在过滤器和排气管之间进行阻塞，b)使过滤器形成为真空状态，和c)通过连接到过滤器的第一侧的喷射管将空气喷射到过滤器中以燃烧过滤器。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 燃烧 铸锭 生长 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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