[发明专利]铝及其合金蚀刻清洁生产工艺在审
| 申请号： | 202110459148.1 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113278976A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 魏喆;魏立安;周国华;陈锦华 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | C23F1/36 | 分类号： | C23F1/36;C23F1/46 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人： | 刘凌峰 |
| 地址： | 330063 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，该工艺包括以下步骤：（1）降温稀释：从蚀刻槽用热泵抽取蚀刻槽中蚀刻液总量的4～5%的高温蚀刻液至稀释沉淀槽，边抽边混入自来水，加入自来水量与抽取的蚀刻液体积比为1:1；（2）沉淀去除悬浮物：降温稀释后的蚀刻液沉淀3～5小时后，颗粒较大的悬浮物通过沉渣去除；（3）过滤去除悬浮物：对沉淀稀释槽内上层清液使用过滤设备进行过滤以进一步去除蚀刻液中的细微悬浮物，分离出过滤的滤渣；（4）将步骤（3）中过滤的滤液抽回蚀刻槽循环使用；（5）每天重复步骤（1）‑步骤（4）两次。本发明的生产工艺可使蚀刻液洁净，寿命延长，蚀刻速度稳定，蚀刻质量提高。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 合金 蚀刻 清洁 生产工艺 | ||
【主权项】：
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