[发明专利]偏移检测结构及基板偏移的检测方法在审
| 申请号： | 202110461226.1 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113192930A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王健鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的一种偏移检测结构和基板偏移检测方法，其通过在第一基板上设置包括多个等间距排布的第一标记的第一标记图案，并通过在键合在第一基板上的第二基板上设置包括多个第二标记的第二标记图案。可直接利用等间距排布的多个第一标记，即可便捷的测量出第二标记图案相对第一标记图案的偏移量，而无需辅助其他的读取工具即可获得第一基板和第二基板之间的偏移量，减小基板偏移检测的工艺复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏移 检测 结构 方法 | ||
【主权项】：
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