[发明专利]一种含氟清洗液组合物的制备方法有效
| 申请号： | 202110461586.1 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113150884B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;史筱超;于仙仙;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/39;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/28;C11D3/20;C11D3/26;C11D3/60;C23F1/26 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟清洗液组合物的制备方法。该的制备方法包括如下步骤：将以下质量分数的组分混合，即得到所述的含氟清洗液组合物；10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％还原型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、1‑5％氟化物、1‑5％有机碱、0.01‑2％螯合剂、0.01‑2％缓蚀剂、0.5‑3％羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L81、0.01‑2％9‑蒽甲醛‑1,1‑二苯基腙和水。采用该制备方法得到的含氟清洗液组合物可选择性地除去微电子器件上的硬遮罩，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 组合 制备 方法 | ||
【主权项】：
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