[发明专利]一种化学机械抛光垫及其制备方法在审
| 申请号： | 202110461979.2 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN114701105A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 相红旗;陈浩聪;姚力军 | 申请（专利权）人： | 宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C41/24 | 分类号： | B29C41/24;B29C41/46;B24B37/24;B24D18/00;B29K75/00;B29L7/00 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市余姚市三七*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学机械抛光垫及其制备方法。本发明的化学机械抛光垫使用聚氨酯树脂浆料，涂抹在涂有脱模剂的成膜基材上，通过两段凝结的方式，分两步在凝结膜两侧分别凝结不同的孔洞结构。在凝结成孔的过程中，控制两段凝结液的浓度、温度，使两种不同孔洞结构的孔洞同时形成在同一张凝结膜上，且从表面层向内占凝结膜总厚度至少15％的指形孔直径不超过25μm，在第二层侧形成的指形孔孔径均匀性高，孔径小，可磨损的厚度大，抛光垫寿命延长；在第一层侧有海绵形孔并且海绵形孔的厚度占总凝结膜厚度的三分之一或以上，对待抛光物追随性好，提供柔性支撑，使得待抛光物表面平坦化程度得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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