[发明专利]一种支撑电极及加热器和单晶炉在审
| 申请号： | 202110463329.1 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113337896A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 沈伟民 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 谢栒 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种支撑电极及加热器和单晶炉。所述支撑电极包括石墨电极和铜电极，支撑电极为非通电电极，其中，石墨电极位于铜电极的上方，石墨电极为中空结构以减小石墨电极的传热截面积，其内部填充有隔热材料以防止石墨电极的辐射热传入铜电极，从而降低铜电极的温度；铜电极上部与石墨电极下部连接，铜电极上部插入石墨电极的中空结构中并与隔热材料接触，铜电极下部具有通冷却水的槽体。本发明通过减小支撑电极的石墨电极的传热截面积，达到减少热量传入铜电极的目的，减小了非通电电极的热量流失，使热场的热分布更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 电极 加热器 单晶炉 | ||
【主权项】：
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