[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202110464425.8 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113653658A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D27/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘茜璐;李啸 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并能够促进与其判定结果对应的适当应对的真空泵。检测值31通过低通滤波器33，被A/D转换器35数字变换，之后，输入到对比部37。在对比部37中，与阈值39对比。阈值39例如根据生成物的量而具有HH水平、H水平、L水平这3阶段的值。然后，在所输入的检测值信号为该HH水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出泵停止信号41。另一方面，在所输入的信号为该HH水平不足且H水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出H水平警报信号43。此外，在所输入的信号为该H水平不足且L水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出L水平警报信号45。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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