[发明专利]双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法在审
| 申请号： | 202110466702.9 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113020821A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张杰;陶沙;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李燕娥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法，该装置包括光束处理组件、分束组件以及透镜，光束处理组件与分束组件连接，分束组件以及光束处理组件分别设于透镜的上方，光束处理组件设于分束组件的上方。本发明实施例通过设置光束处理组件、分束组件以及透镜，由激光器发射的激光光源垂直入射至光束处理组件，经由光束处理组件处理后，由分束组件进行分束形成双光束后，经过透镜聚焦后在样品的表面上进行孔的加工，采用常规通用的光学元件，实现结构简单，成本低，通用性强，实用方便的锥度可控的钻孔。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 激光 旋转 制备 锥度 可控 微孔 装置 加工 方法 | ||
【主权项】：
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