[发明专利]一种双面高效散热气密封装结构及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110471099.3 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113327904B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 张剑;卢茜;向伟玮;岳帅旗;曾策;董东;陈春梅;赵明;叶惠婕 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十九研究所
主分类号: H01L23/467 分类号: H01L23/467;H01L23/473;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/552;H01L25/16;H01L21/48;B81B1/00;B81C1/00
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 孙杰
地址: 610036 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及微电子散热技术领域,公开了一种双面高效散热气密封装结构及其制备方法,该封装结构包括:散热微流道、封装基板、第一芯片、第二芯片、围框、盖板、液冷连接器和电连接器;所述散热微流道和围框焊接在封装基板上;所述第一芯片焊接在散热微流道上,第二芯片焊接在封装基板上,且第一芯片和第二芯片均与封装基板互联;所述盖板分别焊接在围框上和封装基板上;所述液冷连接器和电连接器焊接在封装基板底部。本发明可实现大功率芯片高效散热、中小功率芯片有效散热,使封装结构内热量均匀分布。
搜索关键词: 一种 双面 高效 散热 气密 封装 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
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