[发明专利]一种单节长旋转ITO靶材烧结制备工艺在审
| 申请号： | 202110473471.4 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113357925A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 曾墩风;王志强;曾探;石煜 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00;F27D1/00;F27D11/02;C04B35/64;C04B35/457 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单节长旋转ITO靶材烧结制备工艺，通过在烧结炉内的承烧板铺上1‑4层环型素胚垫环，每个环型素胚垫环上下两侧均铺有球型石英砂，形成环型垫进行放置ITO靶筒素胚来进行烧结，解决了单节烧结长度变形、开裂问题，在行业技术取得革命性的变化，提升了客户使用良率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单节长 旋转 ito 烧结 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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