[发明专利]一种靶材组件及其加工方法有效
| 申请号： | 202110475107.1 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113151798B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材和背板结合后进行机加工，得到初级靶材组件；将初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，得到靶材组件。本发明所述加工方法通过对靶材溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，增强其对反溅射物的粘附能力，并利用滚花花纹的结构特性，避免反溅射物堆积过厚，有效防止因反溅射物过多而容易脱落的问题，保证镀膜产品的质量；所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，成本较低，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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