[发明专利]一种钼钛合金靶坯的制备方法在审
| 申请号： | 202110475515.7 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113174573A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;吴东青;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F1/00;B22F3/10;B22F5/00;C22C14/00;C22C27/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钼钛合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钼粉进行在保护气氛下第一保温处理，之后和钛粉进行混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉依次进行冷等静压处理、包套处理、脱气处理、热等静压及第二保温处理，得到所述钼钛合金靶坯。本发明提供的钼钛合金靶坯的制备方法，通过对制备过程的重新设计，在特定的工艺位置引入新的多次保温处理，降低了钼钛合金的脆性，当经机加和焊接制备为靶材后镀膜时所得薄膜的附着性能好，薄膜电阻低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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