[发明专利]一种自整流忆阻器、制备方法及其应用有效
申请号: | 202110478216.9 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113206194B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 郭新;黄静楠;黄鹤鸣 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H10N70/20 | 分类号: | H10N70/20 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 许恒恒 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种自整流忆阻器、制备方法及其应用,属于半导体器件领域。所述制备方法包括:下列步骤:(1)在底部电极表面沉积氧化物阻变层,该氧化物阻变层中掺杂至少一种金属;(2)在阻变层表面沉积与底部电极材料不同的顶部电极,得到所述自整流忆阻器。本发明采用金属掺杂的氧化物阻变层,从而改变器件的能带结构,提升器件的整流性能,抑制了大规模交叉开关阵列中的潜行电流效应,极大地提高阵列的集成度,大幅降低阵列的功耗。由此解决目前需要集成额外的器件,从而增加了交叉阵列配置的复杂度的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 整流 忆阻器 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
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