[发明专利]复合显微干涉检测校准装置及校准方法在审
| 申请号： | 202110479519.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113091614A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 古耀达;梅文华;程晓文;杨昭信;魏纯;严杰文;武宏宇;代鲲鹏;马婷婷;钟赖;黄锋 | 申请（专利权）人： | 广州计量检测技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 广州广典知识产权代理事务所(普通合伙) 44365 | 代理人： | 谢伟 |
| 地址： | 510663 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合显微干涉检测校准装置及校准方法，其中，复合显微干涉检测校准装置，包括检测调节机构、显微干涉机构、载物机构；所述检测调节机构包括基座、支撑柱、支撑连接件及驱动电机，所述支撑柱纵向设置于基座上，所述支撑连接件沿所述支撑柱滑动设置，所述驱动电机与支撑连接件连接并带动支撑连接件运动；所述显微干涉机构包括显微组件、安装部及显微调节部，所述显微组件均设于安装部上，所述安装部与显微调节部之间活动配合，所述显微调节部与支撑连接件连接；所述载物机构包括用于放置被测物体的载物扫描台。该复合显微干涉检测校准装置能扩充测量范围，提高校准精度，有效提高检测质量及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 显微 干涉 检测 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
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