[发明专利]三维存储器及制造三维存储器的方法有效
申请号: | 202110483965.0 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113206098B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 刘小欣;夏志良;刘威;霍宗亮 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H10B41/35 | 分类号: | H10B41/35;H10B41/41;H10B41/42;H10B41/27;H10B43/35;H10B43/40;H10B43/27 |
代理公司: | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人: | 刘莹;聂国斌 |
地址: | 430000 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了包括外围电路芯片的三维存储器。外围电路芯片包括:第一衬底;第一电路元件层,设置在第一衬底上,并且包括第一器件层和第一连接层,第一连接层用于第一器件层的信号传输;第二衬底,设置在第一电路元件层上;以及第二电路元件层,设置在第二衬底上,并且包括第二器件层和第二连接层,第二连接层用于第二器件层的信号传输。由于外围电路芯片中的器件可以设置在不同的衬底上,可以有效地减小外围电路芯片的面积,有利于三维存储器存储密度的增加。 | ||
搜索关键词: | 三维 存储器 制造 方法 | ||
【主权项】:
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