[发明专利]一种沉积单元与基体界面结合状态的检测方法及其前处理方法有效

专利信息
申请号: 202110484755.3 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113176204B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 谢迎春;黄仁忠;殷硕;陈超越;马丽;黄健;刘敏;邓春明 申请(专利权)人: 广东省科学院新材料研究所
主分类号: G01N19/04 分类号: G01N19/04
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 黄燕
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种沉积单元与基体界面结合状态的检测方法及其前处理方法,属于界面结合状态检测技术领域。该前处理方法包括:在基体表面的沉积单元上覆着粘合剂,通过外力作用使粘合剂以及至少部分沉积单元共同从基体表面剥离,暴露出剥离断面以供检测。该方法能够暴露出沉积单元与基体表面的结合断裂面,进而可以完整的表征涂层最原始、最基本、最重要的形成信息。相应的检测方法操作简单,成本低,实用性强,能够快速准确的得到沉积单元与基体界面的二维结合信息,信息量完整而准确,对于喷涂涂层技术的研究及进一步提高涂层/基体界面间的结合强度,优化涂层的性能具有重要意义。
搜索关键词: 一种 沉积 单元 基体 界面 结合 状态 检测 方法 及其 处理
【主权项】:
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