[发明专利]一种非熔融超晶格相变薄膜材料在审
| 申请号： | 202110484811.3 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113346012A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 程晓敏;张博凯;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 彭翠;曹葆青 |
| 地址： | 430074 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明属于微电子器件及存储技术领域，更具体地，涉及一种非熔融超晶格相变薄膜材料，其包括相变层和钉扎层，所述相变层和钉扎层交替堆叠形成周期性结构，所述相变层采用GeTe材料，所述钉扎层采用TiTe |
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| 搜索关键词： | 一种 熔融 晶格 相变 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
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