[发明专利]靶材冷却水排空装置有效
| 申请号： | 202110485265.5 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113135529B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 田孟顺;刘宏茂 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/06 | 分类号： | B66F7/06 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李健 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种靶材冷却水排空装置，靶材冷却水排空装置包括靶材承载部、靶材升降部和靶材固定部，靶材承载部包括相对设置的第一端和第二端；靶材升降部位于在靶材承载部的第一端；靶材固定部位于所述靶材升降部上方。其中，通过在靶材承载部的一端设置了靶材升降部，通过靶材升降部可以将靶材的固定端抬高到一定高度。这样就可以使靶材内部的冷却水从靶材的密封端流出。本申请实施例采用机械装置替代纯人力作业，从而实现半自动化作业，不仅可以在更换靶材作业的过程中高效的排出靶材内部的冷却水，减少设备的保养时间，还可以保证作业人员的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却水 排空 装置 | ||
【主权项】：
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