[发明专利]一种基于碳纳米管的微焦点场发射电子源及其制备方法有效
| 申请号： | 202110487314.9 | 申请日： | 2021-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN113380597B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 祝维;董长昆;钱维金;黄卫军 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J9/02 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种基于碳纳米管的微焦点场发射电子源及其制备方法，其技术方案是包括以下步骤：(1)在镍基片表面镀上金属铂层；(2)在保护气体保护下，利用脉冲激光以负离焦对镀有金属铂镍基片的表面进行点烧蚀，负离焦烧蚀时激光焦点在镍基片内部，使内部镍金属融化，在镍金属蒸汽的推动作用下流向镍基片表面冷却后形成球壳；(3)利用化学气相沉积法在镍基底的激光烧蚀形成的球壳上直接生长碳纳米管阴极薄膜。本发明该微焦点电子源具有开启电场低(1V/μm)、电流密度高(～1A/cm |
||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 焦点 发射 电子 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于温州大学，未经温州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110487314.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
