[发明专利]非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品有效
| 申请号： | 202110488326.3 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN112981351B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 田兴波 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/10;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/06;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请提供一种非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品。非金属吸收渐变薄膜的制备方法，包括：根据目标图样设计膜系组成和镀膜挡板组成，然后在基材上进行镀膜；所述膜系组成包括依次叠置于基材上的单晶硅层、氮化硅层和二氧化硅层。具膜器件，使用所述的制备方法在所述基材上制备得到。电子产品，包括所述的具膜器件。本申请提供的非金属吸收渐变薄膜的制备方法，可以得到符合要求的黄白渐变色薄膜，同时能够满足手机对薄膜电阻值的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 非金属 吸收 渐变 薄膜 制备 方法 器件 电子产品 | ||
【主权项】：
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