[发明专利]有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110489899.8 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113620232A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;M·费雷拉;C·L·佩瑞里尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01F1/20;G01F15/00;G01L1/16;H04R17/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及有改善机械属性的可变形结构的压电致动器及其制造方法。MEMS致动器由围绕腔体的本体和可变形结构形成，可变形结构悬置在腔体上并且由可移动部分和多个可变形元件形成。可变形元件彼此连续地布置，将可移动部分连接到本体，并且每个可变形元件经受变形。MEMS致动器还包括至少一组多个致动结构，致动结构由可变形元件支撑并且被配置为使得可移动部分的平移大于每个可变形元件的变形。每个致动结构具有相应第一压电区域。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 机械 属性 变形 结构 压电 致动器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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