[发明专利]烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法有效
| 申请号： | 202110490603.4 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113649570B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 田尾幸树 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;B22F5/00;C23C14/34;B22F1/14;B22F1/142 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够容易地制造龟裂得到抑制的烧结体的烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法。本发明的一实施方式的烧结体的制造方法包括：形成包含金属粉末及金属氧化物粉末的原料粉末的造粒物的步骤、以及对所述造粒物进行煅烧的步骤，所述原料粉末包含Mn、Cu及Zn作为金属元素，所述原料粉末中的所述金属粉末的体积比率为28.0体积％以上，所述煅烧步骤中的烧结压力为20MPa以上。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 制造 方法 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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