[发明专利]一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110491264.1 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113185279A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张倍维;陆映东;王凯;梁盈祥;宋春华 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）取净化处理过的ITO靶材废料进行破碎；（2）破碎后的粉料，用20‑40目筛网过筛，未过筛网的较大碎颗粒回收，过筛网的粉料待用；（3）再将粉料用100‑200目筛网过筛，未过筛网的粉料为粗颗粒，过筛网的粉料为细粉；（4）按粗颗粒、细粉体积比例5‑8:2‑4计，取粗颗粒、细粉与PVA水溶液混合；（5）造粒；（6）压制成型；（7）烧结后得到氧化铟锡蒸镀靶材。该方法利用ITO靶材废料制成的粗颗粒作为骨料，细粉作为基质粉料，无需高温钝化处理，能耗低，工艺流程简单，成本低，效率高，适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铟锡蒸镀靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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