[发明专利]一种均热板的盖板制作方法及均热板的制作方法在审
| 申请号： | 202110493982.2 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113281967A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王冬明;孙万华 | 申请（专利权）人： | 江西展耀微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州德科知识产权代理有限公司 44381 | 代理人： | 李桦;万振雄 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市临空经济区*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种均热板的盖板制作方法及均热板的制作方法，该方法包括以下步骤：在所述盖板的第一表面上覆盖光阻膜；对所述光阻膜进行曝光和显影，使光阻膜上形成第一镂空图案和第二镂空图案，第一镂空图案将气槽区对应的光阻膜分割为多个第一光阻块，第二镂空图案将液槽区对应的光阻膜分割为多个第二光阻块，且第一光阻块的覆盖面积小于第二光阻块的覆盖面积；对盖板进行蚀刻，使第一表面形成第一凸起和第二凸起，进一步蚀刻，使第一凸起通过侧蚀作用去除，以使气槽区整体凹陷形成气槽，并使第二凸起保留，以使气槽与液槽的蚀刻速度接近，使液槽的深度增加，提高了液态工质通道的回流速度，增强了均热板的散热功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均热 盖板 制作方法 | ||
【主权项】：
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