[发明专利]一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置在审
| 申请号： | 202110494260.9 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113001027A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 戎家亮;向飞 | 申请（专利权）人： | 安徽应友光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/70;B23K26/16;B23K37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 239500 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，包括底座，底座的顶部活动安装有升降式工作台，升降式工作台的顶部一侧固定安装有载物台，载物台的一侧转动安装有激光操作手臂，激光操作手臂远离载物台的一侧固定安装有电机，电机远离激光操作手臂的一侧固定安装有工作台控制器；底座和升降式工作台之间分别设有若干智能红外感应器，底座的一侧固定安装有激光控制台；载物台的顶部滑动安装有限位组件、底部滑动卡接有收集箱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 尺寸 cvd 设备 背板 精密 激光 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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